臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
工作原理：臭氧发生器应用的物理制氧原理，通过制氧塔的变压吸附作用，在常温常压下直接将空气中的氧和氮分离，取得高纯度的氧气；然后采用电晕放电法获取臭氧，在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧；通过气液混合系统进行水和臭氧的混合后，得到一定浓度的臭氧水。
臭氧是一种氧化性的不稳定气体，臭氧输出浓度受多种因素的影响，其中腔体温度是极重要的因素之一；臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半。在 40~50℃ 时衰减达到80%。超过60℃臭氧会马上分解。 臭氧产量是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出量；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气量数值的乘积即为臭氧产量；通常使用mg/h,g/h,kg/h这些单位表示。臭氧发生器标准中规定臭氧发生器规格型号使用臭氧产量表示和区分。小型臭氧发生器使用g/h为单位，大型臭氧发生器使用kg/h为单位区分规格的大小。
电解式发生器： 该类臭氧发生器通常是通过电解纯净水而产生臭氧。这种发生器能制取高浓度的臭氧水，制造成本低，使用和维修简单。但由于有臭氧产量无法做大、电极使用寿命短、臭氧不容易收集等方面的缺点，其用途范围受到限制。这种发生器只是在一些特定的小型设备上或某些特定场所内使用，不具备取代高压放电式发生器的条件。
电解池式臭氧发生器： 由于电极材料、电解液与电解机理方面的大量研究工作,电解法臭氧发生技术进展很大。近期发展的SPE(固态聚合物电解质)电极与金属氧化催化技术,使用纯水得到φ(O3)>14%的高浓度臭氧,使电解池式臭氧发生器的技术跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧发生器电解池专利中用钛电极板外表面覆盖铂层作为阴极,β-PbO2覆盖的电极板作为阳极,电池与超大电容器一起作为直流电源,电极上不需覆盖其它薄膜,电解液用中性的盐如NaCl来促进臭氧气体的产生。
臭氧发生器的臭氧发生原理
从近年来的情况来看，不少机械设备厂家瞄准家庭健康市场，推出了品名不同、款式各异的“家用臭氧发生器”，且市场。其中，“移动式家用臭氧发生器”因为可以很容易地移动，可在家中的不同房间使用，因而受到众多消费者的青睐。但有的厂家由于生产技术不过关或道德素质底下，采取偷工减料的方式，生产劣质的臭氧发生器，损害了消费者的利益，也搅乱了家用电器市场。那么，该如何选择家用臭氧发生器呢?
臭氧发生器应用在食品加工各个方面消毒
臭氧消毒具有（几乎可以杀死所有种类细菌）、快速（是氯的600倍紫外线的3000倍）、无死角（弥散式消毒）、无二次污染（自行还原，反应后还原为氧气，无残留）的特性，使得以早美国为首的各国广泛在食品加工领域使用臭氧。
食品加工过程中，需要对空气、原材料、工具器材、包装物、工作服等进行消毒。我公司利用新的钛合金电晕放电技术研制的新型壁挂臭氧发生器，可以有效杀菌消毒，保障无菌生产。产品可用于各种食品加工过程，以及包括QS、HACCP认证在内的各种食品认证。
臭氧在食品行业的应用主要有几个方面：一是生产车间空气及设备、器具表面和工作服的杀菌消毒；二是生产加工用水的杀菌净化和制备高浓度的臭氧消毒液；三是冷库消毒和食品保鲜。
更衣室和工作服消毒
生产车间的大部分细菌，都能通过加工人员的工作服带入生产车间，严重时会导致大面积传播，应引起足够重视。食品加工企业大多数采用紫外线照射消毒，因紫外线照射的天然缺陷，消毒效果较差，而臭氧气体可渗透服装各个部位，故利用臭氧对工作服进行消毒是、简单的方法。
制备高浓度的臭氧水做为新型消毒剂
把高浓度的臭氧溶解于水中。制成的臭氧水具有的广谱杀菌效果，同时对各种农药、有机毒物、重金属离子都有的降解作用。高浓度的臭氧水在完成杀菌消毒及降解其它有害物质时，臭氧重新变成氧气，在水中不留下残留物，无二次污染和任何副作用。
