早期的填料多用木材和石棉水泥板等，现今大多采用塑料或者FRP填料。冷却塔填料主要分为点滴式、薄膜式和点滴薄膜式。
1、点滴式淋水填料开始在逆流塔中应用，但因其阻力大、热效率低等缺点，在现在的冷却塔设备中已应用较少。
2、薄膜式填料由于冷效高气流阻力小等特点，目前在国内应用范围是广也是种类多的冷却塔填料，如S波填料、斜波填料、双鞋波、复合波填料等。
3、点滴薄膜式填料性能处在点滴式和薄膜式填料之间。
20世纪五、六十年代，石棉水泥薄板曾作为冷却塔填料的材质而广泛应用。这种材料有很好的防腐蚀性。但人们发现石棉水泥在加工生产过程中对环境有害，所以这种材料的应用逐渐减少，有些国家已经禁用。
70年代左右，塑料填料的出现是冷却塔发展的一个重大。塑料填料先应用是在采暖通风与空调行业，后来又应用到精炼与电厂工业。这种填料的特点是防腐蚀性很好，可以长期利用。塑料膜式填料更是冷却塔发展史上的一大创新，由于它增加了水与空气的接触面积。从而具有更好的冷却能力。但是在冷却塔高温潮湿的工作条件下，塑料填料在工作3年左右的时间后会发生老化变形的现象，影响冷却效率。而且冬季结冰也会对塑料填料造成比较大的影响。
台阶梯形斜波填料由水利电力科学研究院冷却水研究所设计，本填料片型横断面呈梯形斜波，提高了填料中的汽水挠动和减缓水膜下溅速度，在填料中延长了热交换时间，提高了散热性能。具有较好的综合性能。通道面积大，粘接牢固，整体组装钢度好，可广泛用于工业冷却塔。
冷却塔填料清洗方法：
1、临时用塑料布搭建一个大水池；
2、将清洗剂加入清水中；
3、将填料从冷却塔中拆下来放入药池中浸泡；
4、将浸泡干净的填料用清水冲洗干净后装回冷却塔；
5、用粘有药剂的布放在冷却塔补水器上，将补水器口浸泡疏通；
6、用同样的方法将冷却塔底盘水垢进行清除干净；
7、用清水冲洗填料及塔身内外；
8、恢复系统各处，补水即可使用。
冷却塔填料的更换，需要在清除废旧冷却塔的基础上，进行塔内清理清洁，依序科学铺设新填料。新旧填料的更替施工，一般遵循以下步骤：
一、施工前，保护现场其它设备，进行必要的隔离和挂牌。在楼面防水层上铺设施工材料布。
二、拆除旧填料。关闭电机电源，拆除冷却塔填料部位拉筋，进而拆除旧填料，清理塔内垃圾，做到现场清洁。
三、填充新填料。粘接冷却塔填料，并确保填料在粘结剂固化时间内的摆放空间，确保粘接时填料接触点处于同一水平面，在压接过程中填料接触点受力均匀紧密。
四、塔内清理。清理冷却塔内部尘土及垃圾，将填料依序堆放在冷却塔内，严禁践踏挤压，每垛每层填料块整齐，确保填料与边角、柱周严密无缝隙，困难处不超过2mm间隔。恢复冷却塔填料部位拉筋。
五、组装块要按上下方向组装，各层顶面需平整铺放，层间清理，清除杂物。
六、安装、检修等工作需要在填料上作业时，在平板上进行操作，严禁踩踏填料。
七、在整个施工过程中，严禁在填料上方焊接作业，必要时应采取防火措施。
八、冷却塔填料更换、塔体检修等工序全部完成后，带出施工工具及辅助安装设施，工程圆满完工。
冷却塔填料更换步骤：
1、淋水填料采用粘结式组装时，应在平整地面上进行，现场的环境温度不得低于5℃。组装后，立即用平钢板按压，防止成型片本身翘曲而脱胶，粘合剂干燥固定后，可移动位置在平地，堆积高度不得超过2M。防止长期暴露。
2.根据塔内的平面布局，有计划地切割小块填料以填充不规则的间隙。组装块之间紧紧地填充。填充材料与塔壁、纵井、柱梁之间也要紧密填充，大间隙不得超过20MM。
3.安装时，注意装配块的上下方向。每层顶面应铺设平整，夹层应清理干净，无杂物堵塞。
4、安装、维修等工作需要在包装上作业时，用平板覆盖，严禁直接踩踏。
5、在施工、组装、安装过程中，严禁在填料上方进行焊接作业，必要时应采取防火措施。
6、安装时应派专人负责，严密组织，随时检查，确保安装质量。
