X射线的产生利用X射线管（图2），施加高电压以加速电子，使其冲撞金属阳极（对阴极）从而产生X射线。从设计上分为横窗型（side window type）和纵窗型（end window type）两种X射线管，都是设计成能够把X射线均匀得照射在样品表面的结构。
X射线窗口，一般使用的是铍箔。阴极（也叫做：靶材）则多使用是钨(W)、铑(Rh)、钼（Mo）、铬（Cr）等材料。这些靶材的使用是依据分析元素的不同而使用不同材质。原则上分析目标元素与靶材的材质不同。
利用荧光X射线进行定量分析的时候，大致分为3个方法。一个是制作测量线的方法（经验系数法）。这个方法是测定几点实际的已知浓度样品，寻求想测定元素的荧光X射线强度和浓度之间的关系，以其结果为基础测定未知样品取得荧光X射线，从而得到浓度值。
另一个方法是理论演算的基础参数法（FP法）。这个方法在完全了解样品的构成和元素种类前提，利用计算的各个荧光X射线强度的理论值，推测测定得到未知样品各个元素的荧光X射线强度的组成一致。
EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）分析合金元素光谱仪是一种用来确定材料中元素含量和组成的仪器。它利用X射线与材料相互作用时发生的原子激发和荧光现象来获取样品的元素组成信息。
通过使用EDX分析合金元素光谱仪，可以快速、准确地确定合金中各种元素的含量和分布情况，以帮助工程师和研究人员了解材料的组成和性质。这种仪器在材料科学、金属学、地球科学、生物学等领域有着广泛的应用。
