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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收， 真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用，然而在这些领域大都存在尘埃对真空系统的危害问题。为保护真空系统或真空泵不受粉尘和固体颗粒污染和损坏，管路中需配置真空除尘器和真空过滤器。它们可保护真空阀门不被阻塞，避免阀板关闭不严造成漏气，保护测量压力的真空规管不受污损，防止泵受损而工作失常等，对真空设备的净化和平稳、持续工作均很重要。除尘机理及过程从气体中捕集分离粒子的除尘机理，主要有以下几个方面:、重力气流中的尘粒可以依靠重力自然沉降，从气流中进行分离。由于尘粒的沉降速度一般较小，这个机理只适用于粗大的尘粒、离心力利用机械力来捕集分离含尘气流中的粉尘，离心力除尘装置是其中有效的除尘装置。它对粒径较小尘粒的分离捕集非常有效。含尘气流作圆周运动时，
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因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动
