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工艺破坏物理性分析-检测机构

更新时间:2024-10-29 16:12:46 [举报]

广电计量提供覆盖被动元件、分立器件和集成电路在内的元器件破坏性物理分析(DPA)服务,其中针对半导体⼯艺,具备覆盖7nm以下芯片DPA分析能⼒,将问题锁定在具体芯片层或者μm范围内,针对有水汽控制要求的宇航级空封器件,提供PPM级内部水汽成分分析,空封元器件特殊使用要求。

电子元器件制造⼯艺质量⼀致性是电子元器件满足其用途和相关规范的前提。⼤量假冒翻新元器件充斥着元器件供应市场,如何确定货架元器件真伪是困扰元器件使用方的⼀大难题。广电计量DPA分析测试能解决这一系列问题,其中检测项目包括:
●非破坏性项目:外部目检、X 射线检查、PIND、密封、引出端强度、声学显微镜检查;
●破坏性项目:激光开封、化学开封、内部⽓体成分分析、内部目检、SEM检查、键合强度、剪切强度、粘接强度、IC取芯片、 芯片去层、衬底检查、PN结染⾊、DB FIB、热点检测、漏电位置检测、弹坑检测、ESD测试

对于DPA中暴露的问题,只要元器件承制厂所与DPA实验室紧密结合,进行分析与跟踪,准确找出导致缺陷产生的原因,采取有针对性的整改措施,则大多数缺陷模式是可以得到控制或消除的。
破坏性物理分析(DPA)技术不但适用于J用电子元器件,而且也同样适用于民用电子元器件,如采购检验、进货验货及生产过程中的质量监测等均可应用DPA技术。
广电计量破坏性物理分析(DPA)测试能够为J品及民品企业提供一站式服务,报告可靠。

广电计量集成电路失效分析实验室,配备了完善的DPA分析测试设备(如3D解析显微镜、X射线透射仪、超声扫描显微镜、场发射扫描电子显微镜、TEM透射电子显微镜、水汽分析仪、各类检漏仪等),具备非破坏性和破坏性测试的DPA分析能力。

DPA分析是对潜在缺陷确认和潜在危害性分析的过程,一般是在在元器件经过检验、筛选和质量一致性检验后对元器件内部存在的缺陷进行分析,这些缺陷可能会导致样品的失效或不稳定。与其他分析技术不同的是,DPA分析是对元器件进行的事前预计(而失效分析FA是事后检查)。在元器件生产过程中以及生产后到上机前,广电计量DPA分析技术都可以被广泛地使用,以检验元器件是否存在潜在的材料、工艺等方面的缺陷。

电子元器件制造⼯艺质量⼀致性是电子元器件满足其用途和相关规范的前提。⼤量假冒翻新元器件充斥着元器件供应市场,如何确定货架元器件真伪是困扰元器件使用方的⼀大难题。广电计量DPA测试确定元器件在设计和制造过程中存在的偏差和工艺缺陷,提出批次处理意见和改进措施等多方面的检测分析需求。

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