众所周知，真空镀膜机的运行状态将直接影响镀膜产品的质量。为了更好地运行，有必要对真空镀膜机进行维护。那么，你知道真空镀膜机维护的意义吗? 设备的日常维护就是发现生产中的异常现象，尽早解决。如果发现机械泵的油量减少，应该添加。不要认为应该定期换油。否则，在进行维护时，泵的转子可能会严重磨损。比如有些轴承工件被夹住，就要更换轴承;否则坏了，问题就严重了，可能会出现电机烧毁等问题。
前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦，避免溅射镀膜机的很多小问题，对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。
