如何处理真空镀膜的灰尘呢
1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。
2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。
3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。
4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。
5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。
6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有的服装。
由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，除此也要注意经常清洗，避免灰尘越积越多。
真空镀膜机工艺在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技能，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜（控制电柜、电子枪电柜）组成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。
光学镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。
维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。
