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提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括，非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%，单位国内生产总能源消耗降低16%，单位国内生产总值化碳排放降低17%。要达到这样的目标，需要调用一切有效的手段，而光伏发电无疑是一种的选择。纵观能源利用现状，以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力，在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。
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整个炉内的一氧化硅与的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外，整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置，缩短了排气管路，利于提高排气效率。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了流场分布图和热场温度分布图。对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明,新型热屏不仅起到导流筒的作用,改进了流场,使单晶氧含量下降;而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,大大提高了拉晶速率,降低了生产成本。
