按发生器的高压电频率划分，有工频（50-60Hz）、中频（400-1000Hz）和高频（>1000Hz）三种。工频发生器由于体积大、功耗高等缺点，已基本退出市场。中、高频发生器具有体积小、功耗低、臭氧产量大等优点，是现在常用的产品。
按冷却方式划分，有水冷型和风冷型。臭氧发生器工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。水冷型发生器冷却效果好，工作稳定，臭氧无衰减，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型冷却效果不够理想，臭氧衰减明显。总体性能稳定的臭氧发生器通常都是水冷式的。风冷一般只用于臭氧产量较小的中低档臭氧发生器。在选用发生器时，应尽量选用水冷型的。
按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。使用各类介电材料制造的臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。
气源
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
注意事项
1、将设备安装在干燥宽敞的地方，以便于散热和维护；
2、确保电、气、水进出气管线连接正确；
3、使用的线路的容量是符合要求的，以确保消除火灾隐患；
4、高压危险，不要用水冲洗设备；
5、不能置于变电所附近；
6、远离高压线；
7、地面不宜潮湿；
8、设备距四周应有一定的空间（≥300mm)。
适用范围
学校、、机关、工厂等公共食堂对蔬菜、水果、肉类等杀菌消毒、减少农药残留。饮用水厂、食品厂、药厂、化妆品厂、水产养殖场、污水处理厂及泳池、库房、小区供水等用臭氧水杀菌消毒．
主要用途
蔬菜、水果、肉类食品杀菌、消毒，减少农药残留；
对矿泉水、纯净水、医用水、自来水杀菌消毒和保鲜处理；
对养殖用水杀菌消毒，防治水产类疾病；
对污水杀菌、脱色；泳池水消毒净化；
包装物消毒，环境消毒，空气净化，化工合成，材料改性等。
