滚旋转清洗机等离子体表面处理仪
更新时间：2023-07-17 15:39:33
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二、半导体清洗 光刻胶清洗机的优点：
1.全自动控制使用方便，更长的制程执行时间
2.操作简易和灵活标准的平台安装
3.快速实现客户定制率——低发热量
4.使用简易，节省成本多功能前面板
5.、快速的服务和支持直观的液晶显示操作菜单
6.高纯石英腔体减少样品污染可定时功能，时间更
7.射频屏蔽安全可靠*紧急停止，应对各种突发情况
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三、智能控制滚筒等离子清洗机KT-G1DQX技术参数：
供电电源
AC220V（AC110V可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率
150W
射频频率
13.56MHz
频率偏移量
＜0.2MHz
特性阻抗
50欧姆，手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤50Pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
Φ100mmX200mm
旋转速度
20转/分钟
气体流量
0—300ml/min
过程控制
手动控制
清洗时间
手0-999秒
外形尺寸
615X390X560mm
重量
56Kg
真空室温度
小于65°C
冷却方式
强制风冷
标配
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
标签：滚旋转清洗机半导体清洗
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