在光学显微镜中，利用电子来代替可见光，在图像质量和信息价值，可靠性和利用率方面有很大的优势。，利用电子束放大的倍率可以达到20,000x，而利用可见光的放大倍率只有1000x。散射电子的特征是：利用被检查物体表面的电子核相互作用的弹性，散射电子角度范围可以达到180度，但是平均散射角度为5度。通过这种方式，一小部分散射的原子的原子序数Z发生了强烈的改变，通过这种方式可以对原材料做鉴定比较。这就是所谓的原子序数特征对比。这就是为什么电子束焊接机中需要安装检测板来收集散射电子的原因。软件和CNC系统可以利用这些准确的信息来控制焊接参数。
收集的信息以数字形式显示了电子束流与高能电子的弹性散射的采样样本，次电子非弹性散射的采样样本以及电磁辐射的采样样本之间的能量转换的关系。每种能量来源都可以用的传感器检测到并对其进行测量。吸收的束射电流也可以被检测和测量。各种电子放大器采用数字化的CRT显示器信号，可以创建重要的的信号强度分布图。操作人员利用高分辨率的CRT作为其监测设备，与此同时，数字信号传输给CNC系统用于回路控制的监测和反馈。现今，无线传感器放置于真空工作室中来实现自动光束对准。该专利在焊缝准确度方面实现了800%好的手动操作。因此，该技术具有可靠性更高，在热能输入控制方面优势明显，在热能输入与热能影响区域低变形的特点。
如果焊接件有一定的加工要求，那么在完成这个周期的同时需要克服焊接过程的热变形、热收缩、加工过程轻微缺陷、机器位移导致的变化。当我们可以复制我们的工序时，安全系数才会确定下来。在整个电子束焊接过程中，真空室与CNC以及束流和焊缝跟踪电脑控制系统相连，了焊接的可复制性和可重复性。
电子束焊接是指使用加速和聚焦的电子束轰击真空或非真空中的焊接表面，以熔化待焊接的工件。真空电子束焊接是应用广泛的电子束焊接。电子是物质的基本粒子，通常在原子核周围高速运动。当电子被给予一定的能量时，它们会跳出轨道。加热阴极使其释放并形成自由电子云。当电压增加到30至200千伏时，电子将加速并向阳极移动。
直到近，电子束焊接都被认为是一个非常复杂的过程，不容易控制。但是现代化的工厂和控制技术使其易于操作，使得工业界越来越多地转向该技术，因为它提供了许多优势，特别是在以前被认为难以焊接的应用领域。
真空支持活性金属（如钛、硅或镍）的加工，甚至比使用保护性气体更便宜。一般来说，在真空下工作可使工件保持清洁和更好的焊缝质量。智能型空气锁的理念可防止以牺牲生产时间为代价而产生的真空。
