单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
购买技术主要要求
1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
单晶炉型号定义
单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的
数值模拟是在一个低成本的情况下,利用电脑计算提供的详尽资料,用以支持真正的(且昂贵)实验。由于数值模拟提供了一个近似真实的过程,利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化(几何尺寸、保温材料、加热器、外围环境等)对晶体质量的影响做出容易的判断。数值仿真是用来获得廉价的,完整的和全面细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的好办法。
本实用新型涉及一种全单晶硅铸锭炉,包括炉体,隔热笼,上发热体,下发热体,侧发热体,上坩埚盖板,侧坩埚护板,石英坩埚,上热交换台,下热交换台,升降立柱,水冷盘;所述隔热笼为箱体型,固定在炉体内,隔热笼内部固定设有上发热体,侧发热体;隔热笼中部设有下热交换台与下发热体,升降立柱固定连接,上热交换台为活动式,其上放置石英坩埚,侧坩埚护板4,侧坩埚护板,上坩埚盖板;隔热笼底部外侧设有水冷盘.本实用新型结构合理,避免了已有技术中的不足之处,使整个热场横向热场梯度小,熔化硅料时间短,提高了单晶率,缩短了工艺周期,提高了设备的生产效率,可节约能耗,降低铸锭生产成本.