特点
1. 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
2. 耐高温，在工作场地洁净等级达到class1000#前提下，实验室内能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#；
3. 叠成组合式，减少场地占用面积，。
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘烤箱的工作原理是通过利用热沉降法来烤材料。当烤箱内部气流流动时，热量会被沉降到接近材料表面，而表面温度则会逐渐提高，从而完成烤制过程。在烤箱内，热量会被比较地混合和分散此热量可以全面加热材料的表面和内部，使整个材料得到均匀的加热同时，由于热量的比较均匀的分布，可以明显降低蒸发现象，从而大大减少烟尘的排放。
