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安徽包河控制屏回收安徽包河直拉式单晶炉回收

更新时间:2025-02-07 07:54:02 [举报]
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具体实施方式为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座1、主炉室2、副炉室3、下驱动装置4和上驱动装置5,所述主炉室2和下驱动装置4均安装在底座1上,所述主炉室2内设置有炉室坩埚21,所述下驱动装置4和主炉室坩埚21相连,以便通过下驱动装置4驱动主炉室坩埚21升降,所述副炉室3和主炉室2相连通,所述上驱动装置5安装在副炉室3的上端,以便通过上驱动装置5驱动拉晶,其特征在于,它还包括:外部加料器6,所述外部加料器6内设置有加料腔61,所述加料腔61内设置有加料坩埚62,所述外部加料器6的盖装有上盖63;蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,整个炉内的一氧化硅与的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外,整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。
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