在平面布局上，电子无尘车间的洁净前区应设置换鞋区、更衣区、风淋室等，隔离外界污染。电子无尘车间洁净区人员流动方向为：换鞋、一次更衣、风淋室吹淋、到达洁净车间内部。电子无尘车间的物料流动方向应设计为：传递窗、洁净车间内部、传递窗、其他工序等。空调系统是电子无尘车间洁净度的关键，应从多方面考虑，进行设计和布局。
在空气过滤方面，电子无尘车间应设三级甚至四级过滤，末端安装亚过滤器。在压力控制方面，要求电子无尘车间室内有压差，少在5Pa以上。电子无尘车间的新风量和换气次数，应根据车间面积和人员密集程度来定，原则上要求将空气中的含尘浓度降到低，减少外部污染物的影响，提高洁净室的净化效果。
无尘车间要做好什么准备
1、无尘车间装修时和周围生活区的交集，考虑是否会影响到周边环境，生产生活等;
2、无尘车间的工艺布局及工艺流程;
3、净化的洁净等级的确认，以便准备不同的净化设备;
4、选择合适的无尘车间工程装修材料，是否需环保，防火，隔音或者隔热，各自的要求如何;
5、通风系统的提前布置，通风柜等的位置;
6、工程管道的布置原则(如明管或暗管，垂直管道或水平管道);
7、灵活性的要求，各部分是否需要支持可拓展。
