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Surgaguid等离子体源PECVD系统

更新时间:2024-10-26 13:44:04 [举报]

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下,微波可以有效地与气体的电子共振,从而提高电离效率。此外,2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸,这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用,包括:

微波等离子体源的设计和操作可能很复杂,需要仔细控制微波功率、气体流量和压力等参数。此外,采取适当的安全预防措施,因为微波辐射和高电压可能存在危险。 总之,2.45GHz 微波等离子体源是一种强大的工具,在许多需要产生等离子体的应用中都有应用。它们提供了一种、灵活的方法来控制等离子体过程,从而实现各种工业和科学应用。

SAIREM微波等离子体源可以用于药材提纯的过程。微波加热可以提高药材的温度并加速化学反应,从而实现药材的快速提纯。SAIREM微波源具有稳定的性能和高功率输出,可确保药材提纯过程的性和可靠性。通过调节微波功率和加热时间,可以控制药材提纯的过程,使其达到理想的纯度要求。这使得SAIREM微波源在药材提纯领域具有广泛的应用前景。

标签:ECR同轴等离子体源单腔ECR等离子体源
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