超纯二氧化碳（Ultra-pure Carbon Dioxide, UPCO2）是一种高纯度的二氧化碳，通常用于对纯度有要求的科学实验、半导体制造、光刻工艺、电子显微镜等领域。由于其潜在的应用在精密设备中，因此检测超纯二氧化碳的指标会比一般的高纯二氧化碳更为严格，可能包括以下参数： 1. **纯度**： - 99.999%或更高（N2O、H2O、O2、CO、CH4等杂质含量极低） - 总硫（Total Sulfur）含量极低，可能要求小于某个ppm（part per million） 2. **气相不纯物**： - 氮气（N2）含量 - 其他痕量气体（如氧气、氩气、氦气等） 3. **水分含量**： - 往往要求水分含量（水蒸气压或露点）极低，因为水蒸气可能对某些应用产生影响 4. **压力和温度稳定性**： - 稳定的工作压力范围和温度范围 5. **微生物和颗粒物**： - 微生物活性和悬浮颗粒数（如ISO 14644-1规定的洁净级别） 6. **物理特性**： - 比重、密度、折射率等可能需要在特定范围内 7. **包装和存储**： - 符合特定的容器材质和密封要求，防止污染 检测超纯二氧化碳的标准可能依据国际或行业内的规范，例如ISO 9994:2015《气体 - 气体分析方法 - 分子吸收光谱法》或者特定行业的定制标准。对于这类产品的质量控制，通常会采用气相色谱法（Gas Chromatography, GC）、光谱分析或其他分析技术来确保各项指标的达标。
