真空镀膜机是一种利用真空技术对物体表面进行镀膜的设备。它通过在真空环境中蒸发或溅射金属或其他材料,使其沉积在待处理物体的表面,形成一层薄膜。真空镀膜机可以用于多种应用,例如改善物体的光学性能、增强物体的耐腐蚀性、改变物体的外观等。
真空镀膜机通常由真空腔体、加热系统、蒸发源、溅射源、离子源、气体控制系统和控制系统等组成。在真空腔体中,通过抽气系统将气体抽走,形成高真空环境。加热系统用于提供蒸发源或溅射源所需的热能,使材料蒸发或溅射到
气体控制系统用于控制真空腔体内的气体压力和组成,以调节薄膜的性质。控制系统则是用于对各个部件进行控制和监控,以实现对薄膜制备过程的控制。
真空镀膜机广泛应用于光学、电子、材料等领域,用于制备反射镜、透镜、光学滤波器、导电膜等功能薄膜。