因此，美国、德国、日本、英国等工业发达国家，对光学玻璃等硬脆材料的超精密磨削加工技术的研究十分活跃，已开发出的高刚度磨床，用于硬脆材料的超精密加工技术的研究，并且相关科研成果被应用于及民用工业领域。近年来，光学玻璃等硬脆材料超精密磨削装备及工艺技术研究已被列为资助的科研内容。
工作台面采用整体花岗岩结构，在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨，以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动，同时为了防止直线电机的运动影响台面，为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制，从而了工作台具有、快速响应的运动特性。
机床配备了激光干涉仪作为加工精度的在位测量系统，通过机床台面运动和测量拖板横向运动，使激光干涉仪的镜头可以扫描所有加工面积。当机床进行磨削加工时，测量横梁可以运动到加工范围以外。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床是针对国家重要光学工程行业面临重大需求而研究开发的，是具有国际水平的超精密加工关键装备。
