按发生器的高压电频率划分，有工频（50-60Hz）、中频（400-1000Hz）和高频（>1000Hz）三种。工频发生器由于体积大、功耗高等缺点，已基本退出市场。中、高频发生器具有体积小、功耗低、臭氧产量大等优点，是现在常用的产品。
发生器与放电管
臭氧系统的核心技术和设备是发生器中的放电管，直接影响设备的运行效率和可靠性。臭氧发生器采用微间隙介质阻挡放电设计，不仅大大提高了运行的效率，而且增加了系统连续运行的安全可靠性。设备的技术参数已经达到国际水平。
由于采用微间隙放电技术，使系统运行电压降低为6-8 kV，远低于玻璃管绝缘介质的耐压水平，有效地避免了介质击穿短路故障的发生，提高了运行可靠性。
臭氧发生器放电单元所采用的模块化设计方法，使设备的安装，检修和维护工作更加容易。在进气气源质量的条件下，臭氧发生器放电单元连续运行的免维护时间可以长达5年。
气源
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
安装
1）、臭氧发生器安装在制水车间和灌装车间之外（尤其严禁安装在狭小、潮湿的制水或灌装车间），保持发生器工作环境通风及空气干燥，该空间安装排风扇。
2）、臭氧发生器安装位置应地面1.2m以上，有条件时可贮水罐1～2m。臭氧输送管路和单向阀贮水罐1～2m。
3）、具体产品的施工安装要点需详见说明。
臭氧发生器应用的物理制氧原理，通过制氧塔的变压吸附作用，在常温常压下直接将空气中的氧和氮分离，取得高纯度的氧气；然后采用电晕放电法获取臭氧，在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧；通过气液混合系统进行水和臭氧的混合后，得到一定浓度的臭氧水。
臭氧发生器是一种内热式气相反应器。因为空气等类似气体都是不好的导热体，电晕放电产生的热量会使气体温度升高。较高的温度会加速臭氧的逆反应，即臭氧被还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此，冷下也是提高发生器效率的一项措施。由于水和油的吸热系数远大于空气，工业发生器一般采用水冷或油冷发生器。由于空气冷方便易行，这种形式常用于微型臭氧发生器。 对于采用水冷方式的发生器，应考虑冷却水的水质，防止冷却水结垢，以免影响臭氧发生器的散热效果，从而减少臭氧的输出，增加维护成本。因此，如果冷却水质量不好，需要增加板式冷却器。
