扬州邗江分子泵回收扬州邗江长晶炉回收
更新时间:2025-01-04 05:39:19
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进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座,所述旋转套铰接在拖板上,所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上,所述旋转电机安装在固定座上,所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接,所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接,所述加料器旋臂铰接在拖板上,以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出,使得固定座产生位移,并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位,并方便副炉室的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置,所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上,以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降,并通过副炉室旋臂带动副炉室升降,所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间,以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转,副炉室旋臂又带动副炉室旋转。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通,以便将硅料加加料坩埚62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地,外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64,以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通,所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73,所述装料器71和加料坩埚62相连通,所述化料器坩埚72和装料器71相连通,
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提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。
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