无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行，否则易导致内外压强及温度差，造成外部大气冲入箱内等突发状况；2、升温过程中，加热指示灯长亮，达到设置温度后，加热自动停止，同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时，加热再次启动，加热指示灯亮；3、加热指示灯及温度需正常显示，若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。
温度设置1、设置温度不可超过额定温度，真空下物料燃点、沸点骤降，设置温度不合理会造成固态物料熔融结块等现象；2、数显温度需正常指示，若不显示或出现闪烁、跳跃等异常需及时关闭电源并联系仪器负责人；3、操作人员需待实际温度与设置温度一致，加热指示灯熄灭后，方可离开；4、为避免控温失灵，需有专人定时查看仪器运行是否正常，并留意烘烤物料变化情况，若发现异常需第D一时间关闭加热、切断电源、打开放气阀门。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁，长期不用应罩好塑料防尘罩，放在干燥的室内，高温状态下禁止打开箱门，加热过程中务必风机是正常运转，严禁安装在潮湿的环境下运行，操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法，操作方法及保养知识。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
无尘烤箱是一种用于制造、低污染的产品的设备。它的原理是将材料在高温环境下烤制，可以有效地降低灰尘的排放，预防材料在烤箱内变质。在过去，制作特定产品时，在低温下烘烤，因此产生的灰尘量很大。通过使用无尘烤箱，可以有效地降低灰尘污染产品的质量和洁净度。
