将真空泵与光谱室和样品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在几秒钟内抽到规定值，可以排除真空泵出现故障的可能性。如果能抽到规定值但时间较长，可能是真空泵的效率降低，这种情况一般发生在经常分析压片样品和油品的仪器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改变了油的粘度，这时需更换真空泵油。
流气计数器窗膜由一块聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜镀上一层很薄(约30nm)的铝膜所构成，由于窗膜承受大气压力，一段时间后随着基体材料的延展，铝膜可能产生裂纹，从而减弱导电性能，这种情况对脉冲高度分布影响不大，但会使计数率不稳定。新型号的X射线荧光光谱仪一般都安装1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流气计数器的窗膜导电性能下降的可能性增大。
RoHS检测仪的工作流程
样品准备：将待检测的电子产品拆解成单个组件，并将每个组件进行清洁处理，以便准确检测。
检测过程：将准备好的样品放置在RoHS检测仪的检测台上，启动设备并收集荧光信号。
数据处理：RoHS检测仪将收集到的荧光信号进行处理，生成元素分析结果。
结果分析：根据RoHS标准，对样品中的有害元素进行判定，确定该产品是否符合环保要求。
