无尘车间参数标准
无尘车间（Clean Room）是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除室外，并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。
无尘车间主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微，但是对于一些精密产品生产，比如光学行业而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学行业产品的生产上，无尘是必然的要求。
无尘车间的等级
1、等级均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D 及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
2、209E与209D等大的不同在于209E表示单位增加了公制单位，无尘室等级以“M”字头表示，如M1、 M1.5、M2.5、M3，??，依此类推，配合国际公制单位的标准化，M字母后的阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为的，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方的间，则以1.5、2.5、3.5表示。
3、美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class 1，Class 2，Class 3??Class8表示，好的等级为Class 1，差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
无尘车间组成部分
一、结构部分
1.彩钢板围护、吊顶、回风柱、回风墙：岩棉板；吊顶用手工板、墙体用机制板；钢板厚度：376、426、476、500等,所有板密度达到12kg/㎡以上，方可承重。
2.铝型材：T型吊梁、内圆弧、外圆弧、槽铝、角铝（均为6m一条）、内圆接角、外圆接角等，洁净用的铝型材需要有涂层防酸碱腐蚀。
3.门窗：彩钢板门、彩钢板活动门、玻璃视窗。
4.风淋室、传递窗。
5.地板：防水层、环氧地板（2mm----3mm厚度，加防静电粉用于防静电）、PVC地板（2mm和3mm两种厚度、450mm*450mm和600mm*600mm两种规格）、高架地板（百级用，下刷环氧地板）
二、暖通部分
1.空调设备：
（1）风冷机组、水冷机组：风冷可以致热，水冷不能致热；水冷机组需要用到水泵、膨胀水箱等。
（2）风量单位：CMH（每小时每平方米面积上通过的风量）
（3）冷量单位：KW千瓦或匹：1匹=2000大卡×1.16＝2324W，1匹空调的制冷面积大概为11-17平方米。
（4）不同级别净化车间换气次数：
百级：200—300次/小时（高架地板、层流）
千级：50—60次/小时
万级：30—35次/小时
十万级：15—20次/小时
（5）DDC：温度湿度控制器，探头在车间中检测，若与设定温湿度发生偏差，则自行调节。
2.风管风口
（1）镀锌钢板风管： 1.2m宽的主风管用1.2mm厚的钢板，0.8----1.0m宽的用1.0mm或0.8mm厚度，薄部分一般用0.6mm厚度钢板；
（2）送风口：一般按照风量来算，比如1200CMH，有垂直送风的，有侧送风的；
（3）PEF保温：一般都用2.0cm-------3.0cm厚度的保温材料包裹风管，若低于2.0cm则保温效果差。水管保温的话用PEF保温管壳。
3. 空调水管：只针对水冷机组
三、给排水部分
生产车间普通设备用水，涉及到水泵、水管、水箱等。
四、电气部分
1.配电柜：照明、设备动力等；
2.洁净灯具；
3.铜芯电线；
4.电气配件。
五、纯水系统
1.每小时用水量：m³/h；
2.水质（用水级别）：一般以25℃下的电阻率唯判定标准，如18MΩ@25℃。（1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ）；
3.纯水接机器还是取水机；
4.水源：自来水、井水、河水等。
六、废气处理系统
1.气体性质：酸气、碱气、有机气、热气、污染性气体、有毒性气体等。
七、特气系统
八、空压系统
无尘车间的分类：
1.乱流式（Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,级。
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制
程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式（Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式（Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
无尘车间内排水遵守有关规定，采取的措施主要有：
1.100级的洁净室（区）内不宜设置水斗和地漏，10，000级的洁净室（区）应避免安装水斗和地漏，在其它级别的洁净室（区）中应把水斗及地漏的数量减速少到低程度；
2.洁净室（区）内与下水管道连接的设备、清洁器具和排水设备的排出口以下部位设计成水弯或水封装置；
3.洁净室（区）内的地漏，要求材质内表面光洁不易腐蚀，不易结垢，有密封盖，开启方便，能防止废水、废气倒灌，必要时还应根据产品工艺要求，灌以消毒剂进行消毒灭菌，从而可以较好地防止污染；
4.生产中产生的酸碱清洗废水亦应设置管道，应采用耐腐蚀的不锈钢管道、PVC塑料管或ABS工程塑料管中引至酸、碱处理装置。
总之，洁净室（区）应尽量避免安装水斗和下水道，而无菌操作区则应避免。如确实需要安装，则应在工程设计时要充分考虑其安装位置并便于维护、清洗，使微生物的污染降低到小的程度。
净化车间技术要求：
1.电子净化车间万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)
2.电子净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
3.电子净化车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4. 电子净化车间万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和； 供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
5.电子净化车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项大值：电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量，根据热，湿负荷计算确定洁净室的送风量，向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量：
无尘车间设计规划：
1.选址原则：净化车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。净化车间与交通主干道间距宜50米以上。
2.动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中；净化车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
3.有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序；生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料
4.节能原则：净化车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
