分析时间30秒分析误差3%镀层范围0.005~50微米元素范围从硫到铀
EDX-T是天瑞仪器股份有限公司集30多年X荧光膜厚测量技术,研发的一款全新上照式X射线荧光分析仪,该款仪器配置嵌入集成式多准直孔、滤光片自动切换装置和双摄像头,不仅能展现测试部位的细节,也能呈现出高清广角视野;自动化的X/Y/Z轴的三维移动,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种形态的样品进行快速对焦分析。能更好地满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。
应用领域
分析超薄镀层,如镀层≤0.01um的Au,Pd,Rh,Pt等镀层;
测量超小样品,直径≤0.1mm
印刷线路板上RoHS要求的痕量分析
合金材料的成分分析以及电镀液分析
测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
性能优势
1、结合镀层行业微小样品的检测需求,研发适用于镀层检测的超近光路系统,减少能量过程损耗。搭载的多导毛细管聚焦管,的提升了仪器的检测性能,聚焦强度提升1000~10000倍,更高的检测灵敏度和分析精度以及高计数率测试结果的性和稳定性。
2、全景区双相机设计,呈现全高清广角视野,让样品观察更全面;微米级别分辨率,更好的满足超微产品的测试,让测试更广泛更便捷。
3、的多导毛细管技术,信号强度比金属准直系统高出几个数量级。
4、多规格可选的多导毛细管,很好的满足用户不同测试需求。
5、XYZ轴移动测试平台,结合双激光点位定位系统,可实现在样品测试过程中的全自动化感受一键点击,测试更省心。
