电子无尘车间
电子无尘车间结构材料:
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
电子无尘车间净化参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A)。
新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
无尘车间的分类:
1.乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,级。
优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制
程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
无尘车间的排水控制要求:
洁净室(区)排水系统系指室内排水系统。室内排水系统的任务是把零件清洗与卫生器具和生产设备排除的污水迅速排到室外排水管道中去,同时需防止室外排水管道中的有害气体、臭气、害虫等进入室内,产生微生物污染。因此洁净室(区)的排水系统也是极其重要的。无菌器械企业所产生的污水一般有两大类:
一是生活污水,包括卫生洁具、洗手设施、淋浴设施及其他日常生活等排出的污水;
二是生产废水,是指生产过程中所产生的污水和废水,包括产
品零件清洗,工装设备及工位器具和容器的清洗用水、工艺冷却用水等。
无尘车间内排水遵守有关规定,采取的措施主要有:
1.100级的洁净室(区)内不宜设置水斗和地漏,10,000级的洁净室(区)应避免安装水斗和地漏,在其它级别的洁净室(区)中应把水斗及地漏的数量减速少到低程度;
2.洁净室(区)内与下水管道连接的设备、清洁器具和排水设备的排出口以下部位设计成水弯或水封装置;
3.洁净室(区)内的地漏,要求材质内表面光洁不易腐蚀,不易结垢,有密封盖,开启方便,能防止废水、废气倒灌,必要时还应根据产品工艺要求,灌以消毒剂进行消毒灭菌,从而可以较好地防止污染;
4.生产中产生的酸碱清洗废水亦应设置管道,应采用耐腐蚀的不锈钢管道、PVC塑料管或ABS工程塑料管中引至酸、碱处理装置。
总之,洁净室(区)应尽量避免安装水斗和下水道,而无菌操作区则应避免。如确实需要安装,则应在工程设计时要充分考虑其安装位置并便于维护、清洗,使微生物的污染降低到小的程度。
净化车间技术要求:
1.电子净化车间万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3.电子净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4. 电子净化车间万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和; 供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
5.电子净化车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项大值:电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量,根据热,湿负荷计算确定洁净室的送风量,向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量:
无尘车间选址要求:
1、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域。
2、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
3、应布置在厂区内环境清洁、货流不穿越或少穿越的地段。
4、还有洁净厂房大频率风向上风侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍,洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化,可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。