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南京鼓楼整流柜回收南京鼓楼蓝宝石单晶炉回收

更新时间:2025-01-16 07:49:22 [举报]
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根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6、 根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口 (13)通过通气管(19) 相连通。7、 根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)由石墨制成。
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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。

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