高压发生器和X射线光管是仪器内贵重的部件，一般不会出问题。检查高压发生器，可将高压发生器打开，根据电路图，检查各个开关是否在正常位置，看一下保险丝有没有熔断，再进一步的检查好由维修工程师来做。X射线光管是个封闭的部件，一旦损坏，只能更换，不能修理。检查X射线光管，可检查X射线光管与高压电缆的连接是否正常，高压电缆有无损坏。
光谱室常见的漏气部位是流气计数器，流气计数器安装在光谱室内，有一根入气管和一根出气管与外界相通，流气计数器的窗膜很薄，窗膜漏气，就会影响光谱室真空。检查方法：将入气管和出气管用一根软管连接，使流气计数器与外界隔绝，然后抽真空。检查真空故障，在拆卸和安装时，要小心操作，不要让灰或头发掉到密封圈上，以避免产生新的漏气点，安装时可以在密封部位涂一点真空油脂。
X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
流气计数器窗膜由一块聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜镀上一层很薄(约30nm)的铝膜所构成，由于窗膜承受大气压力，一段时间后随着基体材料的延展，铝膜可能产生裂纹，从而减弱导电性能，这种情况对脉冲高度分布影响不大，但会使计数率不稳定。新型号的X射线荧光光谱仪一般都安装1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流气计数器的窗膜导电性能下降的可能性增大。
RoHS检测仪扫描时只出现噪声信号，没有峰位信号的故障分析：
1探测器的前置放大电路出现故障，出现的噪声信号为电路噪声，不是X射线信号。
2测角仪的θ和2θ耦合关系发生混乱，通常是控制θ和2θ耦合关系的CMOS中的数据由于电池漏电等原因丢失，这时需要重新对光。
高分辨率高度的检测方式让我国现今许多产品的检验拥有了更好的效果，而光谱仪器本身的分辨能力和精细的光谱辨析效果也为后续的测量质量带来了更好的品质，这种光谱仪装置其本身的检测效果要表现出稳定的质量，规避相应的影响因素才能够表现出更好的价值。
随着科技的不断进步和人类对环境保护的日益重视，RoHS检测仪在电子制造业中扮演着越来越重要的角色。这种的检测设备基于X射线荧光光谱技术，用于检测电子产品中的有害物质，保障产品符合RoHS标准，为环保事业发挥着重要作用。
RoHS检测仪采用X射线荧光光谱技术，通过发射高能X射线照射样品，使其原子激发并产生X射线荧光。这些荧光信号会携带样品中各种元素的特征信息，仪器通过收集这些信息并进行分析，从而确定样品中各种元素的种类和含量。
RoHS检测仪的注意事项
样品处理：样品准备过程中需注意清洁，避免灰尘、油污等干扰检测结果。
操作规范：操作人员应经过培训，确保正确使用设备，避免因不当操作导致设备损坏或数据失真。
数据保存：检测结果应进行妥善保存，以便在产品出现问题时进行追溯和排查。
