阿坝真空炉氦泄露检测

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氦质谱检漏的基本方法-喷氦法

使用氦质谱检漏仪进行检漏有喷氦法（也叫真空法）、吸枪法等多种方式，对真空设备进行检漏常用的是喷氦法。

启动检漏仪并把它与被测工件相连，检漏仪对被测工件内部抽真空，此时对待检真空设备外部各位置进行喷氦，当喷氦的位置有泄漏时，氦气就会从漏点进入被测工件从而被检漏仪检测到。