化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。
关于真空镀膜机所用的塑料材料，需要与膜层结合性高，放气量小，受热稳定，一起满意这三个条件的塑料资料是十分少的，但塑料资料在工业出产中的应用却十分广泛，所以塑料真空镀膜机的应用也随之发展起来，为了使更多的塑料投入到真空镀膜中，常常经过各种方法改善。
聚乙烯由于真空镀膜习惯差，但经过改造后仍是能够用于真空镀膜的，但只能出产等级低的包装产品或隔热产品，聚丙烯比聚乙烯受热更稳定，并且十分轻，所以其利用价值比较高，不过聚丙烯与膜层的结合性比较差，所以表面处理后才能进行镀膜，膜层作装饰作为，使产品更漂亮。
真空镀膜机应在真空过程前对真空材料进行清洗，去除工件或系统材料表面的污染物;车灯镀膜机零部件表面的清洁也是很有必要的，因为污染物引起的气体和蒸气源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
在镀膜的过程中，由于工件内气体的受热膨胀，很容易使已经镀膜的薄膜开裂。当然，这种情况的概率取决于工件本身的物理性质。比如容易膨胀的，比如塑料，概率就比较高，而对于坚硬的材料，比如金属，概率就比较低，但也不能忽略。因此，工件的除气是非常必要的。
