探针结构设计(如针形)作为半导体试验设备的关键部件、针头材料(如钨、鹬铜)、弹性大小等都会影响探针的稳定性、细微性、信号传导精度等，从而影响探针的测试精度。
探针的要求
（1）质量问题：在使用过程中应定期进行质量检查。探针的质量差会导致测量误差增大，严重时可能会损坏实验设备。
（2）加工工艺问题：在探针的制作过程中，要探针的形状、尺寸的与稳定。
（3）使用注意事项：避免在测量过程中引入空气，勿使用有陷进、连续的探针以免扰动测量，对于使用多个探针进行测量的情况要确保探针之间的长度和间距足够。
（4）存储和保养问题：尽可能地存储环境无除尘、避光性好；探针表面不能有刮伤等损坏，使用前应清洗干净且消毒处理。
环保处理：废料中的其他非金属成分也需要得到妥善处理，以避免对环境造成污染。例如，废酸可以通过中和和沉淀处理进行无害化处理。废水也需要经过处理，以达到排放标准。
