化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
关于真空镀膜机所用的塑料材料，需要与膜层结合性高，放气量小，受热稳定，一起满意这三个条件的塑料资料是十分少的，但塑料资料在工业出产中的应用却十分广泛，所以塑料真空镀膜机的应用也随之发展起来，为了使更多的塑料投入到真空镀膜中，常常经过各种方法改善。
PETP聚对苯二甲酸乙二醇醋，简称聚酯，是继ABS后又一种满意三种条件的塑料，所镀的膜层具有很好的拉伸强度，耐性大。PS聚苯乙烯能够接受100℃以下的温度，真空镀膜的习惯性也好，无色无味，耐酸碱性，是一种十分好的绝缘资料，不过由于容易脆裂，所以用处不是很广泛。PC聚碳酸酯也能够进行真空镀膜，机械功能和抗冲击性也好，但价格相对来说比较高，并且在成型时如果控制欠好，容易发生开裂。PA聚酰胺真空镀膜后能够防油防潮，遮光和隔热功能也十分好，能够作为出产包装产品的资料。
定期保养，有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上，每个设备都有使用寿命。例如，用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不，在生产中，设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养，不仅可以延长设备的使用寿命，还可以减少运行故障，提高生产效率。
真空镀膜机的污染物可以定义为“任何一种无用的物质或能量”。多弧离子镀膜机根据污染物的物理状态可分为固态、气态和液态，污染物以薄膜或颗粒的形式存在。就其化学特性而言，它可以是离子态或共价态，无机态或有机态。
暴露在空气中的真空镀膜机表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附现象、化学反应、浸出干燥过程、机械处理、扩散和偏析过程都增加了各种组分的表面污染物。真空材料表面的常见污染物如下。
①油脂:润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染;
②水基类:操作时的手汗、吹气时的水蒸气、唾液等。
③表面氧化物:材料长时间放置在空气中或潮湿空气中形成的表面氧化物;
④酸、碱、盐类物质:清洗时的残留物质、手汗、水中的矿物质等。
⑤环境空气中的抛光残渣、灰尘和其他有机物等。
