多功用磁控溅射镀膜系统，由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸腾镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造，使整个薄膜生长和器材制备过程高度集成在一个完整的可控环境气氛的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高功用、大面积有机光电器材和电路的制备。
定期保养，有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上，每个设备都有使用寿命。例如，用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不，在生产中，设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养，不仅可以延长设备的使用寿命，还可以减少运行故障，提高生产效率。
检查泄漏情况是真空镀钛机真空度的一种检查方法，简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用，因此检漏是的。通常情况下，真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时，真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室，造成真空度降低。
