校准
校准是提高三坐标检测精度的关键步骤。通过定期校准机器，可以确保机器的各部件处于正确的位置和角度。此外，校准还可以纠正由于机器老化或部件磨损导致的任何偏差。
纳米级扫描电子显微镜（SEM）探索微观世界：扫描电子显微镜利用聚焦电子束在样品表面扫描，激发二次电子等信号来成像，其分辨率可达到纳米级，甚至亚纳米级。在材料科学、生物医学、半导体技术等领域，SEM成为研究微观结构、表面形貌和化学成分的重要工具，为精密量测和科学研究开辟了全新的视角。
形位公差，一般也称为几何公差，是机械加工后零件的实际要素相对于理想要素所允许的误差范围，这些误差包括形状误差和位置误差。形位公差是零件设计和制造过程中不可或缺的重要参数，它直接影响到产品的质量和性能。
大实体要求：适用于中心要素，要求该要素的实际轮廓不得超出大实体实效边界，并且实际尺寸不得超出极限尺寸。
小实体要求：当被测要素的实际轮廓偏离其小实体状态时，允许的形位误差值可以增加，偏离多少就增加多少。
可逆要求：指中心要素的形位误差值小于给出的形位公差值时，允许在满足零件功能要求的前提下扩大尺寸公差。
直尺测量：使用直尺或卷尺等工具直接对准待测尺寸的两个端点，读取刻度值以获取尺寸大小。这种方法简单直接，适用于简单的线性尺寸测量。
游标卡尺测量：游标卡尺是一种精密测量工具，用于测量长度、宽度和深度等尺寸。其测量精度一般可达到0.01毫米，适用于各种形状的尺寸测量，尤其适用于小尺寸的测量。
千分尺测量：千分尺的测量精度更高，一般可达到0.001毫米，适用于各种形状和大小的精密尺寸测量，尤其适用于微小尺寸的测量。
选择合适的测量工具：根据待测尺寸的大小、形状和精度要求选择合适的测量工具。
正确操作测量工具：在使用测量工具时，应严格按照操作规程进行，避免因操作不当导致的测量误差。
注意测量环境：测量环境对测量结果有一定影响，应尽量选择温度稳定、光线充足、无振动和电磁干扰的环境进行测量。
多次测量取平均值：为了提高测量精度，可以多次测量并取平均值作为终结果。
