本机器适用加工产品为镜片、车灯、饰品、相机镜头、手机镜头及外壳、DVD读写头等等产品的镀膜,真空镀膜运用扩及3C产业。
规格
腔体尺寸 2050
蒸发源 电子束源
沉积控制 QCM(选项:人事管理局)
基板夹具 可选:分段圆顶(3/6/7),翻转,行早夹具
控制系统 HOPE(过程控制和监控-PC系统)
单枪
阻蒸
霍尔源
晶控 (XTC/3)
双扩散泵
罗茨泵 (爱德华)
机械泵 (莱宝)
品牌 | 型号 | 数量 |
韩国SNTEK | 2050 | 1台 |
莱宝 | APS1104 | 1台 |
联合 | UNIVAC-2050 | 2台 |
龙翩 | LP-2050EBA | 1台 |
龙翩 | LP-1800EBA | 2台 |
龙翩 | LP-1650EBA | 1台 |
龙翩 | LP-1400EBA | 1台 |
光驰 | OTFC-1300 | 2台 |
韩一 | HVC-1600DA | 1台 |
韩一 | HVC-2050DA | 3台 |