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形貌和成分分析-SEM+EDS检测

更新时间:2025-01-29 05:23:29 [举报]

扫描电镜测试是一种重要的无损检测方法,可以在不破坏样品的情况下获得其表面的详细信息。这种测试方法对于研究材料的性能和应用具有重要意义,可以为材料的研究、开发和生产提供重要的技术支持。

扫描电镜主要应用于对样品微区形貌,结构与组成进行观察与分析。它以分辨率高,景深好和操作简单而被广泛应用与材料学,物理学,化学,生物学,考古学,地矿学和微电子工业

扫描电镜能分析矿物表面形貌,组织和组成。通过扫描电镜(SEM)观测矿物微区变化能为矿物成岩环境与历史演化分析提供证据;能观测粘士矿物形态,分布,性质与共生组合等特征,为粘土矿物成因与地球化学背景分析奠定基础;能分析储集岩矿物组成,结构构造,孔隙类型与成因等特征,并为储层优劣评价提供参考。

扫描电镜可用于观察生物活性钛材料和生物陶瓷材料以及这些材料经过特殊处理后的表面形貌以及羟基磷灰石或细胞在这些材料表面的生长情况。
此外,扫描电镜还能用于观察水凝胶的孔洞结构,胶原的纤维结构,人工骨的孔分布情况以及磁性生物显影材料的尺度及包覆情况等,为改善合成工艺,制备性能的生物材料提供了依据。如图6所示,显示的是钛片经不同方法处理后在表面生长羟基磷灰石的情况。

扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。

扫描电镜的特点是:
①、观察试样为不同大小的固体(块状、薄膜、颗粒),并可在真空中直接进行观察。
②、试样应具有良好的导电性能,不导电的试样,其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。
③、试样表面一般起伏(凹凸)较大。
④、观察方式不同,制样方法有明显区别。
⑤、试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度(方式)等观察条件的选择有密切关系。

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