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为了当不再继续加料时，化料器升降驱动装置更好地驱动导料管20提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，所述导流管20和支撑杆191均呈倾斜状设置，所述支撑杆191和导流管20的倾斜方向及倾斜角度一致。为了增强外部化料器7的稳固性，所述连接块194少设置有两个。为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述丝杠192的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。
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德国CGS GmbH/德国Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月，其前身为德国莱宝晶体生长部。目前其产品已经覆盖生产6”到16”单晶硅棒的设备，设备主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300，EKZ 3000/400型，投料量分别为60kg、150kg、300kg，400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德国CGS单晶炉图（来自产品样本）近年来，国产单晶硅生长炉设备行业发展迅速，已经占据绝大部分的份额。，国内单晶硅生长炉设备领域技术进步明显，逐步解决了单晶硅生长炉的关键技术难题，可以满足太阳能光伏晶体硅制备的需求。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，本发明的直拉式单晶生长炉中，经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L，有效降低了生产成本，且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性，还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出，且利于减少热能和的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通，
