南通崇川蓝宝石单晶炉回收真空流量计回收物流提货

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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆91、拖板92和丝杆旋转驱动装置，底座1上设置有立柱10，所述升降丝杆91可旋转地支承在立柱10上，所述拖板92通过螺纹连接在升降丝杆91上，所述加料器旋臂8连接在拖板92上，所述升降丝杆91连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆91旋转，进而将升降丝杆91的旋转运动转换为加料器旋臂8的升降运动。具体地，所述丝杆旋转驱动装置包括升降电机93和减速机94，所述减速机94连接在升降电机93的输出轴上，所述升降丝杆91连接在减速机94的输出轴上。

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为了使拖板92更平稳地升降，所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置，所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块，所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件，所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114，所述旋转套113铰接在拖板92上，所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上，所述旋转电机111安装在固定座114上，所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接，所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接，所述加料器旋臂8铰接在拖板92上，以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出，使得固定座114产生位移，并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地，为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。