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为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响，进而保下驱动装置4的工作精度，所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置，所述下驱动装置4的底端设置有承载板41，所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上，所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181，所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部，所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接，所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接，以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动，以避免下驱动装置4受到外界震动的影响，所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部，且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接，以避免螺钉16的震动影响到承载板41。
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液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启，炉室、副炉室上升到位后对称旋出，保主机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢，法兰整体锻造，经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，加热元件采用硅碳棒，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，，拉伸强度高，大大提高了使用寿命；2、可抽真空，并能通入多种保护气氛（易、强腐蚀性气体除外）；3、超压自动泄压，超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠；4、我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；可安装无纸记录装置，实现数据的存储、输出；5、可选配通过触摸屏操作的方式对真空系统、充气系统、温控系统进行程序控制，操作简单方便，无误。
