多功用磁控溅射镀膜系统,由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸腾镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造,使整个薄膜生长和器材制备过程高度集成在一个完整的可控环境气氛的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高功用、大面积有机光电器材和电路的制备。
真空镀膜机应在真空过程前对真空材料进行清洗,去除工件或系统材料表面的污染物;车灯镀膜机零部件表面的清洁也是很有必要的,因为污染物引起的气体和蒸气源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
检查泄漏情况是真空镀钛机真空度的一种检查方法,简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用,因此检漏是的。通常情况下,真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时,真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室,造成真空度降低。