在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜功用的一个重要因素。因此，当点评某薄膜样品的功用时，需求检测该薄膜样品不同厚度下的功用。对于真空镀膜的情形，这往往需求进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：，不同次生长的样品，仪器的状况不同，以至于影响薄膜样品功用的因素可能不仅仅是厚度;其次，真空镀膜试验装取样品需求重新进行真空的获得，十分耗时。增加了出产和检测的本钱。
关于真空镀膜机所用的塑料材料，需要与膜层结合性高，放气量小，受热稳定，一起满意这三个条件的塑料资料是十分少的，但塑料资料在工业出产中的应用却十分广泛，所以塑料真空镀膜机的应用也随之发展起来，为了使更多的塑料投入到真空镀膜中，常常经过各种方法改善。
众所周知，真空镀膜机的运行状态将直接影响镀膜产品的质量。为了更好地运行，有必要对真空镀膜机进行维护。那么，你知道真空镀膜机维护的意义吗? 设备的日常维护就是发现生产中的异常现象，尽早解决。如果发现机械泵的油量减少，应该添加。不要认为应该定期换油。否则，在进行维护时，泵的转子可能会严重磨损。比如有些轴承工件被夹住，就要更换轴承;否则坏了，问题就严重了，可能会出现电机烧毁等问题。
前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦，避免溅射镀膜机的很多小问题，对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。
真空是支撑真空镀膜机运行的环境，尤其是需要高真空度的设备。通常，我们需要达到高的真空度，而抽气系统的功能是不可缺少的。但是除了抽气系统之外，真空镀膜设备的操作还有一点，就是工件的脱气。有些工件内部有大量气体和水分，在设备加热时会排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些气体含有有毒成分，直接破坏真空室内部机械结构，导致设备无法正常运行。
在镀膜的过程中，由于工件内气体的受热膨胀，很容易使已经镀膜的薄膜开裂。当然，这种情况的概率取决于工件本身的物理性质。比如容易膨胀的，比如塑料，概率就比较高，而对于坚硬的材料，比如金属，概率就比较低，但也不能忽略。因此，工件的除气是非常必要的。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。
检查泄漏情况是真空镀钛机真空度的一种检查方法，简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用，因此检漏是的。通常情况下，真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时，真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室，造成真空度降低。
在检漏过程中，为了做好检漏工作，有必要注意一些问题。
，检查虚漏是否仍为实漏，因为工件数据加热后会出现不同程度的气体，有可能被误认为是从外部流出的气体，这就是虚漏，要消除这种情况。
第二，测试真空室的气密性功能，确保气密性功能符合要求。
三、检查漏孔的大小、形状、方位、漏速，编制解决方案并实施。
四、得出检测仪器检漏的检出率和灵敏度，要检查刻度的泄漏情况，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏检测的准确性。
五、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，把握好时间，检漏仪操作到位，时间少，检漏功能一定差，时间长，浪费检漏气和人工电。
六、还要防止泄漏堵塞，有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体将泄漏堵塞，认为孔的方向没有泄漏，但当由于内外压差进展或其他原因导致泄漏孔未堵塞时，泄漏仍在那里。
