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全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用，即可满足转动所需的扭矩，又可实现转速的控制。质量流量计控制流量。自主产权的控制软件采用视窗平台，操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
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而边壁的边界层又是主要影响因素。另一机理是高浓度尘流中粉尘颗粒的扩散与凝聚这对矛盾中凝聚成为主要矛盾方面。粉尘颗粒可以彼此凝聚在一起。又可能与实质界面凝聚而吸附在其上面。通过这两个机理，后粉尘从气体中分离出来。 排尘过程排尘过程主要是经分离界面以后已分离出来的粉尘排离排尘口，不同的除尘器排尘的作用力也不同。有些除尘器不需要再加额外动力能利用原捕集分离的外力把粉尘排离除尘器。而另一些除尘器则需要加额外的动力才能把已分离的粉尘排出。 排气过程已弃尘后相对净化的气流从排气口排出的过程称为排气过程。上述基本知识是除尘器、过滤器设计制造的理论基础。下面具体讨论单晶炉领域除尘技术。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了使拖板92更平稳地升降，所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置，所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块，所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件，所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114，所述旋转套113铰接在拖板92上，所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上，所述旋转电机111安装在固定座114上，所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接，所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接，所述加料器旋臂8铰接在拖板92上，以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出，使得固定座114产生位移，并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地，为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。
