超纯水又称高纯水或纯化水，超纯水是化学纯度很高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99%，其中杂质含量低于0.01mg/L。高纯水主要指水的温度为25℃时，电导率小于0.1us/cm ,pH值为6.8-7.0及去除其他杂质和细菌的水。高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0.3mg/L以下,电导率小于0.2μs/cm。
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去离子水就是将水通过阳离子交换树脂、阴离子交换树脂。则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并和水中的阳离子组成相应的；含此种的水再通过阴离子交换树脂（常用的为型qiang碱性阴离子）OH-被置换到水中，并和水中的H+结合成水，此即去离子水。
