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进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降,并通过加料器旋臂带动外部加料器升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转,加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构,所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置,底座上设置有立柱,所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上,所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上,所述加料器旋臂连接在拖板上,所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转,进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。
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由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,整个炉内的 一氧化硅与的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外,整个炉内不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀,还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上,从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置,缩短了排气管路的长度,利 于提高排气效率。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一,用此方法单晶生长速度,晶体尺寸,晶体质量,易实现自动控制,因此获得了广泛的应用。而此方法生产单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理;讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系统完全平衡的条件,以及提拉系统不平衡校正的方法。