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关于氩气纯度检测的国家标准,主要根据氩气的不同用途和等级有不同的标准。以下是两种常见氩气等级的纯度要求:
纯氩 : 氩气纯度(体积分数)需达到或超过99.99%。 水分含量(体积分数)应不超过15ppmv,对应的露点温度应不 57.5℃。
2. 高纯氩 : 氩气纯度(体积分数)需达到或超过99.999%。 水分含量(体积分数)应不超过3ppmv,对应的露点温度应不 69.0℃。 这些标准确保了氩气在不同应用场景下的性能,比如在半导体制造、光学、薄膜沉积、激光切割和焊接等领域的应用。对于更高纯度要求的应用,如半导体行业,对氩气中水分、氧气、氮气及其他杂质的含量都有严格的限制。这种高纯度的氩气能够确保产品品质和工业过程的稳定性。
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