按发生器的高压电频率划分，有工频（50-60Hz）、中频（400-1000Hz）和高频（>1000Hz）三种。工频发生器由于体积大、功耗高等缺点，已基本退出市场。中、高频发生器具有体积小、功耗低、臭氧产量大等优点，是现在常用的产品。
按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。使用各类介电材料制造的臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。
气源
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
使用说明
1、臭氧发生器安装人员要经过技术培训才能开机维修；
2、使用臭氧机杀菌时，严禁工作人员在浓度较高的臭氧环境中上班和工作；
3、切记设备保养或维修时 处理电源断掉和把臭氧泄气的状态下进行，能够很好的确保人员安全维修；
4、如有异常，请立即断电或者通知的人员进行检修；
5、合格的接地线，安全可靠的接地，禁止安装在氨气易泄露或有发生爆炸危险的危险区；
6、对工艺流程臭氧发生器的应用方法操作人员应知晓，并且能熟练的操作此消毒设备；
7、如发生臭氧泄漏的情况需要时间关闭臭氧发生器，并开启通风设备进行通风处理后，即时退出臭氧发生器使用空间，等空间残余臭氧降至安全范围再进入。
功能
杀菌：可迅速杀灭各种细菌、病毒，且无二次污染
：有效去除食物中的残余农药
除臭：去除霉味、烟味、油烟味、水渍、垃圾等各种臭味
增氧：提高空气和水中的含氧量
保健：净化空气，促进人体新陈代谢
保鲜：水果、蔬菜禽蛋的保鲜等
臭氧发生器是一种内热式气相反应器。因为空气等类似气体都是不好的导热体，电晕放电产生的热量会使气体温度升高。较高的温度会加速臭氧的逆反应，即臭氧被还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此，冷下也是提高发生器效率的一项措施。由于水和油的吸热系数远大于空气，工业发生器一般采用水冷或油冷发生器。由于空气冷方便易行，这种形式常用于微型臭氧发生器。 对于采用水冷方式的发生器，应考虑冷却水的水质，防止冷却水结垢，以免影响臭氧发生器的散热效果，从而减少臭氧的输出，增加维护成本。因此，如果冷却水质量不好，需要增加板式冷却器。
