产品规格及参数
| 型号/规格参数
| SMU-5040EA(2.5D)
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| 工 作 台
| X/Y轴行程
| 500mm ╳ 400mm
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| Z轴行程
| 调焦行程200mm，工作距离90mm (可根据客户要求定制加高)
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| 大理石 台面尺寸
| 660mm ╳ 560mm
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| 玻璃台面尺寸
| 550mm ╳ 450mm
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| 传动型式
| X/Y轴：采用交叉传动导轨+丝杆； Z轴：采用直线导轨+丝杆； X/Y/Z三轴进口轴承
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| 光学尺分辨率
| X/Y/Z轴：0.001mm
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| XY测量线性精度
| 3+L/200(μm)
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| XY重复性精度
| 0.003mm
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| 驱动电机
| CNC伺服电机
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| 摄像机
| 千兆网彩色工业数字相机
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| 测量软件
| INSPEC全自动影像测量软件，编程操作简单，易上手 （测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统）
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| 镜头
| 自动变倍镜头 光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率20-128X 可通过选配0.5X/2X物镜，实现放大倍率10-64X/40-256X
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| 可选配
| 同轴光、激光定位导航
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| 探针、激光镭射头(测量工件高度)
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| 光源系统
| 表面光源：三环LED冷光源、寿命长、亮度255级可调
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| 底光源：LED白色冷光源、寿命长、亮度255级可调
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| 仪器外形尺寸（L*W*H）
| 1050mm ╳ 1700mm ╳ 1600mm
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| 仪器重量
| 240kg
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