江苏平江涡旋高真空泵回收 江苏平江直拉式单晶炉回收
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主要产品 七大类:电阻炉、感应炉、真空炉、电子束炉、热处理(或熔炼)机组、热处理辅助设备、燃烧炉三. 电阻炉:三大部件:加热器、炉衬、耐构件 1. 分为周期式及连续式两大类 2. 周期式炉的特征: A. 炉料同时加入同时取出 B. 加热时炉料基本不动(特殊情况除外:如滚筒炉,辊底炉) C. 工作区内力求温度均匀3. 周期式电阻炉的分类 A. 箱式炉 B. 台车炉(分为自行式和牵引式),用作退火之用,加热后工件随炉冷却 C. 井式炉 蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计、减压工艺的设计与调整
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因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动