乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,级。
优点:构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，-般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单，运转后短时间内即可变成稳定
缺点:建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器夏盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响基它工作区域。
优点:管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响，
缺点:构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
洁净室按用途分类
(1)、工业洁净室
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。(2)、生物洁净室
主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:A、一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。B、生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、制备)。
发菌量
分析国外试验资料可以认为:
(1) 洁净室内当工作人员穿无菌服时
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
(2)咳嗽-次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏-次一般为 4000~62000个/min.人
(3)穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/min.人
(4)无口置发菌量:有口置发菌量 1:7~1:14
(5)发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
(6)手术中人员发菌量 878个/min.人
所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min,人，动态发菌量一般不超过1000个/
min/人，以此作为计算依据是可行的。
洁净室里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及-些其他的设施。HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。
对已建成工厂的改建通常会陷入到室无意义的经济漩涡当中。升级的投资收回率通常比直接购买新设备要高很多。大部分工厂设备翻新的投资回收期不超过两年。也就是说，通常投资收回率至少是50%，对照投资新的固定资产，则只有10%到15%(即投资回收期需要七年时间)。
虽然初步设计报价昂贵，但是经济翻新的可能性仍然存在。设备翻新的投资回收期不超过两年，总体而言，在某种程度上投资收回率是较高的。
下面是新建和现有工厂提供解决能效的十个技巧，不但提供了可靠的技术，风险也小、而且费用低或者不需要花钱，而投资回收期又很吸引人。
洁净室
clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱人、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
