层流洁净室的送风量一般按室内断面风速确定：
100级垂直层流洁净室断面风速不小于0.25m/s;水平层流洁净室断面风速不小于0.35 m/s。洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净间的理想自净时间Tr=体积/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。
乱流洁净室一般按换气次数估算:
1000级洁净室不小于50次/h;
10000级洁净室不小于25次/h;
100000级洁净室不小于15次/h。
否则刚开始风量也许能满足温湿度要求，系统运行一段时间后就不会效果那么好了。
